Сүүлийн жилүүдэд манай улсын мэдрэгчийн технологи хурдан боловсруулж, түүний өргөдлийн талбарууд нь өргөжиж байна. Орчин орчин орчинны хэмжээний хэмжих технологи, шинэ технологи, шулуун технологи, шинэ материал, шинэ процессод байнга, шинэ процессод байнга гардаг.
Даралт мэдрэгч нь даралтын дохиог илрүүлэхэд ашигладаг төхөөрөмж бөгөөд тодорхой дүрмийн дагуу цахилгаан дохиогоор хөрвүүлэх явдал юм. Энэ нь өндөр температурт, температурын талбай, янз бүрийн хөдөлгөөний хэсгүүдэд өргөн температурт, хэт температурт, хатуу температурт хэрэглэгддэг материалууд (жишээлбэл, ° C) амжилтгүй болох нь даралтын хэмжүүрийн дутагдалд хүргэдэг. Тиймээс өндөр температурын даралт мэдрэгч нь судалгааны чиглэлүүд маш чухал чиглэл болж хувирдаг.
Өндөр температурын ангилалдаралтнайх
According to the different materials used, high-temperature pressure sensors can be divided into polysilicon (Poly-Si) high-temperature pressure sensors, SiC high-temperature pressure sensors, SOI (silicon on insulator) high-temperature pressure sensors, SOS (silicon on sapphire) silicon-sapphire pressure sensors, optical fiber High temperature pressure sensor and other different types.Judging from the current development situation, the research status and prospects of SOI өндөр температурт даралтын мэдрэгч нь маш тохиромжтой. Дараахь зүйл нь ихэвчлэн SOI өндөр температурын даралтын мэдрэгчийг танилцуулдаг.
SOI өндөр температурын даралтын мэдрэгч
Soi-ийн өндөр температурын даралтыг хөгжүүлэх нь Soi Subate-ийн давхаргууд ба SIN-ийн давхаргын давхаргууд нь SIO-ийн давхаргын давхаргад хамаарах бөгөөд SOIN-ийн давхаргын давхаргууд Силикон, Төхөөрөмжийн найдвартай байдлыг сайжруулж, SOI төхөөрөмжийн өндөр температурт өндөр температурын шинж чанартай, энэ нь өндөр температурт даралтын мэдрэгчтэй болоход хамгийн тохиромжтой материал болдог.
Одоогийн байдлаар SOI өндөр температурт даралтыг амжилттай боловсруулж, ажлын температурт АНУ-ын Нарийвчилсан мэдрэгчтэй Sensical Teplock Teploge-ийн боловсруулсан; Францын өндөр температурт даралтын мэдрэгч нь xi'an jianyond их сургууль, Тяньтингийн их сургууль, Тяньтин их сургууль, Нэмий болон АЛТРИМИЙН АЖИЛЛАГААНЫ ТЕХНОЛОГИЙН АЖИЛЛАГАА АЖИЛЛАГААНЫ АЖИЛЛАГААНЫ ТУХАЙ АЖИЛЛАГАА, Төсөл нь жагсаалын үе шатанд оролцож байна.
SOI Өндөр температурын даралтын мэдрэгчтэй ажиллах зарчим
Зарчмын хувьд SOI Өндөр температурын даралттай мэдрэгч нь SILICON CORRYSTORE-ийн хувьд SOILICON-ийн ХУВЬЦААГҮЙ БОЛОМЖТОЙ БОЛОМЖТОЙ БОЛОМЖТОЙ БОЛОМЖТОЙ БОЛОМЖТОЙ БОЛОМЖТОЙ БОЛОМЖТОЙ БОЛОМЖТОЙ БОЛОМЖТОЙ БОЛОМЖТОЙ БОЛОМЖТОЙ. Зураг 2 (a) -д үзүүлсэн шиг улаан буудайн гүүрийг бүрдүүлнэ; Даралт арын хөндий нь SOI субстратын давхаргад даралт мэдрэмтгий бүтэц үүсгэдэг.
Зураг 2 (a) улаан буудайн чулуу гүүр
Даралт мэдрэмтгий бүтэц нь агаарын даралтад өртөх үед Piezoresor-ийн хүчдэлийн хүчдэл нь гаралтын хүчдэл, даралтын утгыг давж гардаг.
Soi Text Teal Teal Tergy даралтын мэдрэгчийн хуурамч үйл явц
Soi Tight Tast Tast-температурын даралтын бэлтгэлийн явцыг бэлтгэх процесс нь олон мемот үйл явцыг хамардаг. Зарим гол алхамуудыг товчхон ажиглаж, голчлон перзористорын бэлтгэл, даралттай, даралттай кино бэлтгэх, даралтын танхимын явцыг агуулсан.
Varistors бэлтгэх түлхүүр нь допингийн концентрацийг хянах, дараагийн хэвний хөдөлгөөний үйл явцыг хянах; Металл тусгал давхарга нь ихэвчлэн улаан буудайн чулуу гүүрний холболтоор үйлчилдэг; Даралт мэдрэмтгий кино бэлтгэх нь голчлон гүнд силикон гаднах үйл явцад тулгуурладаг; Хөндийн баглаа боодол нь ихэвчлэн даралтын мэдрэгчийн хэрэглээнээс хамаарч өөр өөр байдаг,
Өндөр температурт температурт давталтын даралт, аэр-хөдөлгүүр, аэр-хөдөлгүүр, ирээдүйн судалгааны хэмжээс нь маш өндөр хатуу, температурт болон өндөр температурт шинж чанартай байх болно. SOI-ийн өндөр температурт даралтын мэдрэгчийн талаархи судалгааг урт хугацааны тогтвортой байдал, мэдрэгчтэй орчинд тэсвэртэй орчинд, даралтын мэдрэгчдийн нарийвчлалыг сайжруулахад анхаарлаа хандуулах хэрэгтэй. тал.
Мэдээжийн хэрэг ухаалаг, ухаалаг температурт өндөр температурын дарамтыг бий болгохын тулд SEED-ийн өндөр температурт, мэдээллийн даралтыг олж авахын тулд SOI TIDIPSIMPERSERECTERS-ийг илүү ухаалаг үйл ажиллагаа эрхэлдэг. Байна уу.
Бичлэгийн хугацаа: Мар-03-2023